机械 MEMS 测试

压阻式悬臂梁测试

基于 MEMS 的传感器的一种常见传感原理是将压阻元件纳入传感结构中。当传感元件受到应变时，压阻元件的电阻会发生变化。

为了提高浸笔纳米光刻系统的效率，这里显示的 MEMS 芯片具有六个用于并行书写的悬臂阵列。为了校正悬臂阵列与样品基板之间的倾斜角度，每个悬臂都配备了一个压阻传感器，用于测量每个悬臂的接触力。压阻元件是通过离子注入制造的，系统中集成了惠斯通电桥，以将微小的电阻变化准确地转换为电压变化。

在此应用实例中，以自动方式研究了每个悬臂梁的刚度。阵列内的刚度一致性是决定 MEMS 芯片性能的重要特性。

电活性聚合物致动器测试

共轭或导电聚合物作为新型微加工器件（如致动器和传感器）的智能材料正受到广泛关注。在本研究中，对梁状电活性聚合物致动器的偏转范围、致动力及时间响应进行了测试。

梁形微致动器被夹在两个电极之间，从而能够施加致动信号来驱动微致动器。上图显示了 EAP 致动器梁的最大偏转与致动电压的关系。下图显示了 EAP 致动器产生的驱动力，以及与时间相关的方波驱动信号。