微柱压缩
在 SEM 中进行原位微压缩实验，可直接观察测试过程中的应力变形。位移控制可将变形精确控制在特定应变范围内，并保留变形结构以供后续分析。
应用程序
牛津仪器集团的一部分
NMT04 纳米力学测试系统处于原位 SEM/FIB 纳米压痕技术的最前沿。利用 FemtoTools 独有的 MEMS 技术，该系统为微米和纳米级材料的分析提供了无与伦比的精度。
凭借基于 MEMS 的力传感器，NMT04 具有卓越的分辨率、可重复性和动态响应。该系统非常适合金属、陶瓷、薄膜和微尺度结构（如超材料和 MEMS）的纳米压痕。它通过配件可扩展，适用于各种研究领域。
该系统在微压缩测试、薄膜或纳米线拉伸测试以及微悬臂梁断裂测试等应用中表现卓越。它可精确量化塑性变形、裂纹扩展和断裂韧性。其紧凑的设计适合大多数商用 SEM，可与 EBSD 和 EDX 等技术配合使用，进行全面的相关分析。
微机电系统（MEMS）力传感器凭借其超小的移动质量和高刚度，具有高达 100 kHz 的无与伦比的动态范围。此外，MEMS 的精细制造公差实现了最低的噪声背景，低至 500 pN。
高达100 kHz |
低至500 pN |
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| 共振频率 | 力噪声底限 |
位移控制纳米压痕对于在一致的压痕深度下测量和比较力学性能至关重要，可确保对等效材料体积进行探测。
固有位移控制 |
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| 控制模式 |
NMT04 专门设计用于与 SEM 内的电子背散射衍射 (EBSD) 或扫描透射电子显微镜 (STEM) 检测器无缝配合。其开放式测量框架可同时观察和分析力学测试过程中样品微结构的演变。
高温模块可在高达 800°C 的受控温度下进行力学测试，例如纳米压痕、微柱压缩、微悬臂弯曲、微拉伸测试。与我们的带尖端加热功能的微力传感探头结合使用，可进行受控等温测试。
| 温度范围 | 抗氧化 | |
| 高温模块 | 800 摄氏度 | 真空 |
可更换的样品平台与 piezoscanner 和 牛津仪器纳米压痕 2 轴微力传感探头相结合，通过在施加法向力同时实现样品在平面内的移动，可实现纳米划痕和纳米磨损测试以及 SPM 成像等先进技术。
| 旅行范围 | 噪声地板 | |
| 压电扫描仪 | 20 微米 | 下午5点 |
旋转台可实现样品与压头尖端的旋转对齐，通过将旋转台作为样品转盘使用，可在单次测试中对多个样品进行测试。此外，它通过允许样品在压痕和成像位置之间轻松旋转，简化了相关纳米力学测试。
*目前在美国和日本不可用。
| 旅行范围 | 噪声地板 | |
| 旋转台 | 360 度 | 35 微米 |
这款基于 MEMS 的拉伸测试芯片由一个可移动体组成，该可移动体通过四个弯曲件悬挂在外部固定框架内。它可对薄到可透过电子的样品进行拉伸测试，从而能够同时使用扫描透射电子显微镜 (STEM) 或透射 Kikuchi 衍射 (TKD) 进行成像。
| 间隙尺寸 | |||||
| 纳米拉伸测试芯片 | 100 微米 | 50 微米 | 10 微米 | 7.5 微米 | 5 微米 |
FT-S 微力传感探头是能够沿传感器探头轴测量从亚纳牛顿到 2 牛顿的力的传感器。它们提供各种尖端材料和几何形状，包括钻石贝科维奇、立方角、平冲头、楔形、锥形等。
| 作用力范围 | 力分辨率（10 Hz时的噪声） | |
| FT-S200 | ±200 微牛顿 | 500皮牛顿 |
| FT-S2 2000 | ±2 毫牛 | 5 纳纳 |
| FT-S20’000 | ±20 毫牛 | 50 纳牛 |
| FT-S200,000 | ±200 毫牛 | 500 纳牛 |
| FT-S2 1,000,000 | ±2 N | 5 微牛顿 |
FT-S 双轴 微力传感探头是基于微机电系统 (MEMS) 的多轴微力传感器，能够同时测量 两个平面方向上的力。这些传感器主要应用于 纳米划痕、纳米摩擦学和纳米磨损测试。
| 作用力范围 | 力分辨率（10 Hz） | |
| 力感应 | ±20 毫牛 | 100 纳牛 |
| 切向力传感 | ±20 毫牛 | 100 纳牛 |
高温微力传感探头是基于微机电系统 (MEMS) 的微力传感器，能够测量 200mN 至 2 µN 的力。此外，凭借单体 集成式尖端加热器，纳米压痕仪尖端的温度可 与样品温度精确匹配，实现等温 测试条件。
| 作用力范围 | 力分辨率（10 Hz时的噪声） | |
| 力感应 | ±200 毫牛 | 1 微牛顿 |
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