纳米压痕
纳米压痕通过将尖锐的探针压入材料表面，测量产生压痕所需的力，来评估材料的局部力学行为。该技术可直接从材料的响应中测量局部力学性能（包括硬度、弹性模量、应变率敏感性等）。
应用程序
牛津仪器集团的一部分
iX05 是一款 operando 纳米压痕仪。它设计用于在高温、低温、高应变率或液体环境等实际条件下测量材料局部力学性能。
传统的纳米压痕仪是针对实验室条件下的材料测量而设计的。然而，实际应用中的材料往往会经历极端环境，这些环境会强烈影响其力学行为。iX05 经过优化，可针对目标应用的代表性条件测试材料的力学性能。
iX05融合MEMS技术的高分辨率、高速性能，及快速控制电子设备与环境控制功能，为operando条件下材料力学性能的测量与可视化提供了终极解决方案。
iX05 operando纳米压痕系统可提供高达+800°C 的高温测试和低至 -150°C 的低温测试。该系统配备带环境控制的电动腔室，可在惰性气体或高真空环境下进行测试，最大限度地减少氧化和污染。
-150 °C 至 +800 °C |
低至 5×10⁻⁴mBar |
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| 力范围 | 工作压力 |
iX05 提供超快的纳米压痕功能，每秒可进行多达 30 次压痕测绘。它结合了牛津仪器纳米压痕 MEMS 力传感器和超快电子元件，提供 2 MHz 的采样率和 500 kHz 的反馈频率，在高速下表现卓越。
最高达 2N |
低至 100 pN |
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| 力范围 | 力噪声底限（在 10 Hz 时） |
iX05 提供超高分辨率纳米压痕功能，可检测极微小的硬度和弹性模量变化。它具有位移传感功能，在 20 um 范围内位移噪声背景低于 5 pm，跨度达 7 个数量级。该仪器还包括可互换的基于 MEMS 的力传感器，范围从 100 pN（噪声底限）到 2 N，涵盖 10 个数量级。为了确保准确性和精度，iX05 配备了自动、高精度的校准程序，可实现无缝使用。
高温模块可在惰性气体氛围中，在高达 400°C 的受控温度下进行纳米压痕等力学测试。与我们的带探针加热功能的微力传感探头结合使用，可进行受控等温测试。
| 力范围 | 抗氧化 | |
| 高温模块 | 800 摄氏度 | 真空 |
低温温度模块使用液氮作为冷却剂，可将温度降低至 -150°C，从而在极低的温度下进行实验。iX05 在高真空条件下运行，可有效防止凝结问题，确保在低温下进行顺畅、可靠的实验。
| 力范围 | 防凝露 | |
| 低温模块 | -150 摄氏度 | 真空 |
可更换的样品平台与 piezoscanner 和牛津仪器纳米压痕 2 轴微力传感探头相结合，通过在施加法向力同时实现样品在平面内的移动，可实现纳米划痕和纳米磨损测试以及 SPM 成像等先进技术。
| 旅行范围 | 噪声地板 | |
| 压电扫描仪 | 250 微米 | 0.4 纳米 |
超快速映射模块将压痕速度从每秒3次提升至最高每秒30次，可在不到一小时内生成包含超过90,000个压痕的高分辨率力学图谱。专用样品台对于快速加速、停止、稳定、执行纳米压痕测量，然后在 33 毫秒内加速到下一个压痕位置，同时保持卓越的精度，至关重要。
| 缩进速度 | |
| 超高速映射模块 | 30 缩进/秒 |
微力传感探头是能够沿传感器探头轴测量从亚纳牛到 2 牛顿的力的传感器。它们提供各种尖端材料和几何形状，包括钻石贝科维奇、立方角、扁平冲头、楔形、锥形等。
| 范围 | 噪声地板（10 Hz） | |
| S200 | ±200 微牛顿 | 0.1 纳牛顿 |
| S2’000 | ±2,000 微牛顿 | 0.5 纳牛顿 |
| S20,000 | ±20,000 微牛顿 | 5 纳纳 |
| S200,000 | ±200,000 微牛顿 | 50 纳牛 |
| S2 2,000,000 | ±2,000,000 微牛顿 | 500 纳牛 |
微力传感探头是基于微机电系统 (MEMS) 的多轴微力传感器，能够同时测量两个平面方向上的力。这些传感器主要应用于纳米划痕、纳米摩擦学和纳米磨损测试。
| 范围 | 噪声地板（10 Hz） | |
| 正常 | ±20,000 微牛顿 | 10 纳牛 |
| 切线 | ±20,000 微牛顿 | 10 纳牛 |
高温微力传感探头是基于微机电系统 (MEMS) 的微力传感器，能够测量 200mN 至 2 µN 的力。此外，凭借整体集成式探头加热器，纳米压痕仪探头的温度可与样品温度精确匹配，从而实现等温测试条件。
| 作用力范围 | 力分辨率（10 Hz时的噪声） | |
| FT-S200'000-HT | ±200 毫牛 | 100 纳牛 |
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