纳米压痕
纳米压痕通过将尖锐的探针压入材料表面，测量产生压痕所需的力，来评估材料的局部力学行为。该技术可直接从材料的响应中测量局部力学性能（包括硬度、弹性模量、应变率敏感性等）。
应用程序
牛津仪器集团的一部分
i04 是一款高分辨率纳米力学测试系统，能够准确量化微米和纳米级材料的力学和摩擦学性能。
作为全球首款基于 MEMS 的纳米压痕仪，i04 采用 FemtoTools 专利的微机电系统 (MEMS) 技术。凭借二十多年的创新经验，这款纳米压痕仪提供无与伦比的分辨率、可重复性和动态稳定性。
i04 针对金属、陶瓷、薄膜和涂层以及更符合要求的微结构（如超材料）的机械测试进行了优化。
典型应用包括硬度和弹性模量的定量分析、力学性能分布，以及划痕测试、扫描探针显微镜成像（SPM）和高温测试等扩展模块。
微机电系统（MEMS）力传感器凭借其超小的移动质量和高刚度，具有高达 100 kHz 的无与伦比的动态范围。此外，MEMS 的精细制造公差实现了最低的噪声背景，低至 500 pN。
高达100 kHz |
低至500 pN |
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| 共振频率 | 力噪声底限 |
纳米压痕仪的一个关键质量指标是其准确测量压痕深度的能力。这受位移传感器的噪声底限（分辨率）限制。i04具有无与伦比的噪声底限（小于 50 pm），即使在最浅的深度也能获得出色的结果，如图所示，在石英玻璃上仅 5 nm 的可重复压痕曲线。
< 50 pm |
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| 位移噪声底限 |
位移控制纳米压痕对于在一致的压痕深度下测量和比较力学性能至关重要，可确保对等效材料体积进行探测。
真实位移控制 |
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| 控制模式 |
高温模块可在惰性气体氛围中，在高达 400°C 的受控温度下进行纳米压痕等力学测试。与我们的带探针加热功能的微力传感探头结合使用，可进行受控等温测试。
| 温度范围 | 抗氧化 | |
| 高温模块 | 400 摄氏度 | 惰性气体置换 |
可更换的样品平台与 piezoscanner 和 FemtoTools 2 轴微力传感探头相结合，通过在施加法向力同时实现样品在平面内的移动，可实现纳米划痕和纳米磨损测试以及 SPM 成像等先进技术。
| 旅行范围 | 噪声地板 | |
| 压电扫描仪 | 250 微米 | 0.4 纳米 |
牛津仪器纳米压痕微力传感器探头是能够测量从亚纳牛顿到 2 牛顿的力传感器。它们提供各种探头材料和几何形状，包括钻石贝科维奇、立方角、扁平冲头、楔形、锥形等。
| 作用力范围 | 力分辨率（10 Hz时的噪声）; | |
| FT-S200 | ±200 微牛顿 | 500皮牛顿 |
| FT-S2 2000 | ±2 毫牛 | 5 纳纳 |
| FT-S20’000 | ±20 毫牛 | 50 纳牛 |
| FT-S200,000 | ±200 毫牛 | 500 纳牛 |
| FT-S2 1,000,000 | ±2 N | 5 微牛顿 |
牛津仪器纳米压痕双轴微力传感探头是基于微机电系统 (MEMS) 的多轴微力传感器，能够同时测量两个平面方向上的力。
| 作用力范围 | 力分辨率（10 Hz） | |
| 力感应 | ±20 毫牛 | 100 纳牛 |
| 切向力传感 | ±20 毫牛 | 100 纳牛 |
高温微力传感探头是基于微机电系统 (MEMS) 的微力传感器，能够测量 200mN 至 2 µN 的力。此外，凭借整体集成式探头加热器，纳米压痕仪探头的温度可与样品温度精确匹配，从而实现等温测试条件。
| 作用力范围 | 力分辨率（10 Hz时的噪声） | |
| FT-S200'000-HT | ±200 毫牛 | 1 微牛顿 |
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