牛津仪器 纳米压痕 云学院

薄膜是应用最广泛的纳米材料类别之一，广泛用于半导体、光学、柔性电子以及建筑玻璃的功能化表面——制造商可能需要在数平方公里的面积上定期沉积厚度仅为几纳米的薄膜！为确保大面积范围内的质量，测试需快速且准确。采用连续刚度测量（CSM）的纳米压痕测试为研究薄膜的力学性能提供了一种快速、局部化的方法。本应用笔记成功展示了对两种不同厚度（100nm和550nm）薄膜的纳米压痕测量。

采用连续刚度测量（CSM）的纳米压痕测试为研究力学性能随压入深度的变化提供了一种快速、局部化的方法。该方法通常采用 2 nm 的恒定位移振幅来实现。然而，在小深度下，由于该振幅的相对量级较大，可能会对测量结果产生显著影响。本应用笔记探讨了恒定载荷振幅与恒定位移振幅之间的关系，并验证了比例缩放振幅比CSM模式在全深度范围内均能提供更优异的测试结果。